
近日,国投创业完成对国内半导体机械手与晶圆传输系统领先企业素珀电子科技(上海)有限公司(以下简称:素珀电子)的领投。此次投资旨在推动半导体洁净机械手的自主创新,加速实现国产替代。
素珀电子聚焦半导体真空机械手、大气机械手的研发及生产亿鑫网,并围绕机械手同步提供真空传输平台(VTM)、前端传输系统(EFEM)等晶圆传输系统。
半导体机械手是各类半导体装备的关键部件之一,是晶圆传输系统中技术门槛最高的部件,当前我国在该领域被国外厂商垄断超过90%。半导体机械手特别是真空手的自主化水平极低。
素珀电子通过持续的创新研发投入亿鑫网,成功攻克多项技术难题,大幅提升手臂精度和稳定性、优化动力传输系统uptime。目前公司已拥有专利73个,涵盖了机械手臂的核心零部件及控制器等领域,是极少数能比肩国际一流水平、批量交付真空机械手的本土厂商。
为进一步满足客户批量化定制化需求,公司新建68000㎡半导体机械手研发生产基地,预计2026年底一期竣工投入使用。
国投创业观点
素珀电子核心团队由深耕行业十多年的资深工程专家构成,依靠扎实的机电软技术基础与持续迭代的运动学及动力学算法,公司已成为多家大型半导体设备企业的核心供应商。通过本轮投资,国投创业将支持素珀电子扩大产能、深化核心部件自研工作,加快半导体机械手与晶圆传输部件的国产替代进程。
关于国投创业
国投创业成立于 2016 年,是国家开发投资集团有限公司为落实国家创新驱动发展战略,深化与科技部全面战略合作,加快推动国家科技成果转移转化,按照市场化方式专门设立的创业投资基金管理公司。国投创业通过国家科技重大专项成果转化基金、国投京津冀科技成果转化基金、国投高新(深圳)创投基金、国投(宁波)科技成果转化基金、国投(广东)科技成果转化基金等平台,始终围绕科技成果转化投资目标亿鑫网,聚焦先进制造、电子信息、生物医药、材料能源等关键领域,着眼京津冀、长三角、粤港澳大湾区等国家区域发展战略布局,持续推动关键核心技术自主创新不断实现突破,构建良好的科技成果转化投资生态体系。
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